工艺能力

转台能力:
角位置定位精度 土5”
位置重复精度 ±3“
角速率范围(°/s) ±0.001~±3600

温控性能：
工作温度范围 -55℃～+130℃
温度波动度 ≤±1℃
温度均匀度 ≤±2℃
温度偏差 ≤±2℃
变温速率 ≥2℃/min