6英寸体硅工艺为主，可实现多种工艺的加工服务
单晶硅/多晶硅刻蚀
氧化硅/氮化硅刻蚀
HF/BOE湿法释放刻蚀
甩干干燥/烘箱干燥/IPA干燥
金属刻蚀：Al/Au/Ti/Cr
金属剥离(Lift-off工艺)
光刻胶去除
湿法腐蚀间
湿法腐蚀工艺原理图
湿法腐蚀作业效果
