深孔引线

顶层引线

侧方引线

适用于梳齿型MEMS传感器、执行器的制造。

典型产品如：加速度计、陀螺仪、微镜、电场传感器等梳齿结构产品。

关键工艺点：光刻CD、梳齿的垂直度、深宽比、粗糙度、硅硅键合、阳极键合、共晶键合。