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典型工艺

TSV工艺

三明治型标准工艺

采用上下极板电容差分原理，适用于三明治式MEMS传感器的制造

三明治型加速度计

三明治型标准工艺

采用上下极板电容差分原理，适用于三明治式MEMS传感器的制造

三明治型加速度计

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