MEMS气体传感器

MEMS气体传感器

采用MEMS工艺,结构简单,利用半导体材料的气敏特性对环境中的特定气体进行检测;具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等特点。月产能≥100K。

微型化

体积小:巨大应用领域

成本低:适于大批量应用

功耗低:物联网应用的关键要素

多功能化

同质传感器:阵列化传感器

不同传感器:多个参数同时探测

恶劣环境探测求

集成化

传感器与电路集成:信号探测、逻辑判断、功能计算、双向通讯,以及内部自检、自校、自补偿、自诊断等功能

传感器与微型电源集成:独立工作,可移动性

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